Thickness and microstructure influence on the nanocrystalline Cu thin films’ mechanical properties

材料科学 纳米压痕 纳米晶材料 微观结构 薄膜 粒度 缩进 退火(玻璃) 复合材料 微晶 弹性模量 冶金 纳米技术
作者
Simón Roa,M. Sirena
出处
期刊:Journal of Materials Research [Springer Nature]
卷期号:36 (4): 938-948 被引量:6
标识
DOI:10.1557/s43578-021-00147-z

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