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Analysis of DMD diffraction effect and its generated stray light

杂散光 光学 衍射 计算机科学 材料科学 物理
作者
YUAN Xiyao,Yuan Hu,Yunhan Huang,Yichen Xu,QIN Mingze,Wenxuan Li
出处
期刊:Journal of Applied Optics [ying yong guang xue bian ji bu]
卷期号:42 (4): 630-635 被引量:2
标识
DOI:10.5768/jao202142.0401009
摘要

针对数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)衍射效应对系统成像影响严重的问题,对DMD元件产生的杂散光进行研究。基于严格耦合波理论构建了DMD衍射模型,分析不同波段和入射角度对其衍射效率的影响,分析结果表明,在长波红外波段DMD衍射效应较明显,且随着入射角度增大,DMD衍射效应更为显著。分析投影系统中DMD的衍射杂光产生途径,通过改变系统的F数来控制入射角度,计算出DMD衍射效应产生的杂光能量占比,给出不同波长下,不同F数的光学系统杂光随衍射效应的变化曲线,即F数越大,DMD衍射效应对系统杂光影响越小。
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