Analysis of DMD diffraction effect and its generated stray light

针对数字微镜器件（digital micromirror device，DMD）衍射效应对系统成像影响严重的问题，对DMD元件产生的杂散光进行研究。基于严格耦合波理论构建了DMD衍射模型，分析不同波段和入射角度对其衍射效率的影响，分析结果表明，在长波红外波段DMD衍射效应较明显，且随着入射角度增大，DMD衍射效应更为显著。分析投影系统中DMD的衍射杂光产生途径，通过改变系统的F数来控制入射角度，计算出DMD衍射效应产生的杂光能量占比，给出不同波长下，不同F数的光学系统杂光随衍射效应的变化曲线，即F数越大，DMD衍射效应对系统杂光影响越小。