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Analysis of DMD diffraction effect and its generated stray light
杂散光
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作者
YUAN Xiyao,
Yuan Hu,
Yunhan Huang,
Yichen Xu,
QIN Mingze,
Wenxuan Li
出处
期刊:Journal of Applied Optics
[Journal of Applied Optics]
日期:2021-01-01
卷期号:42 (4): 630-635
被引量:2
标识
DOI:10.5768/jao202142.0401009
摘要
针对数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)衍射效应对系统成像影响严重的问题,对DMD元件产生的杂散光进行研究。基于严格耦合波理论构建了DMD衍射模型,分析不同波段和入射角度对其衍射效率的影响,分析结果表明,在长波红外波段DMD衍射效应较明显,且随着入射角度增大,DMD衍射效应更为显著。分析投影系统中DMD的衍射杂光产生途径,通过改变系统的
F
数来控制入射角度,计算出DMD衍射效应产生的杂光能量占比,给出不同波长下,不同
F
数的光学系统杂光随衍射效应的变化曲线,即
F
数越大,DMD衍射效应对系统杂光影响越小。
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