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The effect of 130 keV N2+ ion implantation post-treatment on the micro- and nanostructure of sputtered chromium nitride thin films

材料科学 卢瑟福背散射光谱法 氮化铬 氧烷 离子注入 薄膜 纳米压痕 分析化学（期刊） 扩展X射线吸收精细结构 溅射沉积 溅射 氮化物 晶格常数 光谱学 吸收光谱法 离子 冶金 纳米技术 衍射 图层（电子） 光学 化学 物理 有机化学 量子力学 色谱法
作者
Sascha Louring,Kristian Rechendorff,Klaus Pagh Almtoft,Benjamin Watts,Christian Jeppesen,B.H. Christensen,Lars Nielsen
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2020-03-12 卷期号：389: 125635-125635 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2020.125635
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