亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Three-Step Process for Efficient Solar Cells with Boron-Doped Passivated Contacts

材料科学 钝化 兴奋剂 退火(玻璃) 掺杂剂 多晶硅 晶体硅 化学工程 光电子学 图层(电子) 纳米技术 复合材料 化学 有机化学 工程类 薄膜晶体管
作者
Saman Sharbaf Kalaghichi,Jan Hoß,Jonathan Linke,Stefan Lange,J.H. Werner
出处
期刊:Energies [MDPI AG]
卷期号:17 (6): 1319-1319
标识
DOI:10.3390/en17061319
摘要

Crystalline silicon (c-Si) solar cells with passivation stacks consisting of a polycrystalline silicon (poly-Si) layer and a thin interfacial silicon dioxide (SiO2) layer show high conversion efficiencies. Since the poly-Si layer in this structure acts as a carrier transport layer, high doping of the poly-Si layer is crucial for high conductivity and the efficient transport of charge carriers from the bulk to a metal contact. In this respect, conventional furnace-based high-temperature doping methods are limited by the solid solubility of the dopants in silicon. This limitation particularly affects p-type doping using boron. Previously, we showed that laser activation overcomes this limitation by melting the poly-Si layer, resulting in an active concentration beyond the solubility limit after crystallization. High electrically active boron concentrations ensure low contact resistivity at the (contact) metal/semiconductor interface and allow for the maskless patterning of the poly-Si layer by providing an etch-stop layer in an alkaline solution. However, the high doping concentration degrades during long high-temperature annealing steps. Here, we performed a test of the stability of such a high doping concentration under thermal stress. The active boron concentration shows only a minor reduction during SiNx:H deposition at a moderate temperature and a fast-firing step at a high temperature and with a short exposure time. However, for an annealing time tanneal = 30 min and an annealing temperature 600 °C ≤ Tanneal≤ 1000 °C, the high conductivity is significantly reduced, whereas a high passivation quality requires annealing in this range. We resolve this dilemma by introducing a second, healing laser reactivation step, which re-establishes the original high conductivity of the boron-doped poly-Si and does not degrade the passivation. After a thermal annealing temperature Tanneal = 985 °C, the reactivated layers show high sheet conductance (Gsh) with Gsh = 24 mS sq and high passivation quality, with the implied open-circuit voltage (iVOC) reaching iVOC = 715 mV. Therefore, our novel three-step process consisting of laser activation, thermal annealing, and laser reactivation/healing is suitable for fabricating highly efficient solar cells with p++-poly-Si/SiO2 contact passivation layers.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
落后从阳完成签到 ,获得积分10
42秒前
1分钟前
瓜皮糖浆发布了新的文献求助30
2分钟前
港港完成签到 ,获得积分10
2分钟前
2分钟前
瓜皮糖浆完成签到,获得积分10
2分钟前
浅黑色饕餮完成签到,获得积分10
2分钟前
斯文败类应助浅黑色饕餮采纳,获得10
2分钟前
拜托你清醒一点完成签到 ,获得积分10
2分钟前
lelecha发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
zs完成签到 ,获得积分10
3分钟前
lelecha完成签到,获得积分10
3分钟前
3分钟前
风起云涌龙完成签到 ,获得积分0
4分钟前
bkagyin应助科研通管家采纳,获得10
4分钟前
mellow发布了新的文献求助10
5分钟前
Aloha完成签到 ,获得积分10
5分钟前
熊一只发布了新的文献求助10
6分钟前
nanfang完成签到 ,获得积分10
6分钟前
光亮的自行车完成签到 ,获得积分10
6分钟前
Qvby3完成签到 ,获得积分10
6分钟前
领导范儿应助科研通管家采纳,获得10
6分钟前
可爱的函函应助Jenaloe采纳,获得10
7分钟前
7分钟前
7分钟前
7分钟前
Jenaloe发布了新的文献求助10
7分钟前
Jenaloe完成签到,获得积分10
7分钟前
7分钟前
落后的西牛完成签到 ,获得积分10
8分钟前
Artin完成签到,获得积分10
8分钟前
深情安青应助科研通管家采纳,获得10
8分钟前
xzn发布了新的文献求助10
9分钟前
Rebeccaiscute完成签到 ,获得积分10
9分钟前
WANG发布了新的文献求助10
10分钟前
小王完成签到 ,获得积分10
10分钟前
11分钟前
林夏果发布了新的文献求助10
12分钟前
林夏果完成签到,获得积分10
12分钟前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 1500
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 799
Livre et militantisme : La Cité éditeur 1958-1967 500
Retention of title in secured transactions law from a creditor's perspective: A comparative analysis of selected (non-)functional approaches 500
"Sixth plenary session of the Eighth Central Committee of the Communist Party of China" 400
Introduction to Modern Controls, with illustrations in MATLAB and Python 310
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3056457
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2713069
关于积分的说明 7434540
捐赠科研通 2358102
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1249268
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 607010
版权声明 596195