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Controllable electrochemical-magnetorheological finishing of single-crystal gallium nitride wafers

材料科学抛光薄脆饼蚀刻（微加工）电解质磁流变液电化学化学机械平面化复合材料各向同性腐蚀表面粗糙度氮化镓光电子学图层（电子）电极化学结构工程工程类阻尼器物理化学

作者

Jiewen Yan,Jisheng Pan,Qiusheng Yan,Rui Zhou,Yusen Wu

出处

期刊：Journal of Solid State Electrochemistry [Springer Nature]
日期：2022-12-15 卷期号：27 (3): 597-610 被引量：6

标识

DOI：10.1007/s10008-022-05322-8

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