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MAED: Mask assignment encoder decoder solver for multiple patterning layout decomposition

计算机科学 编码器 解算器 分解 编码(内存) 并行计算 算法 计算机硬件 人工智能 化学 程序设计语言 有机化学 操作系统
作者
Fang Yu,Jiwei Shen,Shujing Lyu,Yue Lu
出处
期刊:Expert Systems With Applications [Elsevier]
卷期号:: 126309-126309
标识
DOI:10.1016/j.eswa.2024.126309
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