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Geometry-based Curvilinear Mask Process Correction for Enhanced Pattern Fidelity, Contrast, and Manufacturability

可制造性设计曲线坐标过程（计算）工程制图工程类计算机科学忠诚材料科学几何学机械工程数学电气工程操作系统

作者

Chun-Hung Liu,Ze-An Din

出处

期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1

标识

DOI：10.1109/tsm.2024.3521368

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