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Quantum chemistry model of surface reactions and kinetic model of diamond growth: Effects of CH3 radicals and C2H2 molecules at low-temperatures CVD
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作者
Yuri Barsukov,
Igor Kaganovich,
Mikhail Mokrov,
Alexander Khrabry
出处
期刊:
Diamond and Related Materials
[Elsevier]
日期:2024-09-06
卷期号:149: 111577-111577
链接
osti.gov
osti.gov
doi.org
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2024.111577
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