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Contribution of oxygen vacancies to the phase transition and ferroelectricity of the Al:HfO2films

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作者
X.W. Liu,Yao Lulu,Weidong Zhao,Jiawei Wang,Yonghong Cheng
出处
期刊：Nanotechnology [IOP Publishing]
日期：2024-06-27 卷期号：35 (37): 375702-375702
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1088/1361-6528/ad53d4
摘要
We investigate the effects of oxygen vacancies on the ferroelectric behavior of Al:HfO
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