Abstract Es werden spektroskopische Untersuchungen zur Strukturaufklärung von Siliciumperoxyden durchgeführt, einer neuen Verbindungsklasse, deren Erforschung im Rahmen der Entwicklung der peroxydischen Polymerisationskatalysatoren und Aktivatoren Bedeutung zukommt. Dabei wurden die IR‐ und Raman‐Spektren der folgenden Präparate aufgenommen und untersucht: Es werden allgemeine Strukturbetrachtungen für Moleküle des Typs R 3 XOOXR 3 als Viermassenmodell durchgeführt. Bei der Zuordnung der Spektren werden jeweils Vergleichssubstanzen herangezogen, die die Gruppierung R 3 X— mit dem entsprechenden Peroxyd gemeinsam haben, um durch Aussonderung der Frequenzen des R 3 X‐Gerüstes die Schwingungen der XOOX‐Brücke isolieren zu können. Dabei kann als wahrscheinlichste Struktur für die Verbindungen des Typs R 3 SiOOSiR 3 und R 3 COOCR 3 ein wasserstoffperoxydähnlicher Bau der Moleküle abgeleitet werden. Diese Deutung wird durch die Tatsache gestützt, daß andere Bearbeiter mit Hilfe von Messungen elektrischer Momente zu ähnlichen Aussagen über den Molekülbau des Di‐tert.‐Butylperoxyds gelangen.