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Influence of oxygen vacancies in ALD HfO2-x thin films on non-volatile resistive switching phenomena with a Ti/HfO2-x/Pt structure

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作者
A.S. Sokolov,Yu-Rim Jeon,Sohyeon Kim,Bon‐Cheol Ku,Dong-Hwan Lim,Hoonhee Han,Myeong Gyoon Chae,Jae-Ho Lee,Beom Gil Ha,Changhwan Choi
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2017-11-06 卷期号：434: 822-830 被引量：102
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.11.016
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