清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Micromachining of AlN and Al2O3 Using Fiber Laser

表面微加工 材料科学 激光烧蚀 激光器 氮化物 通量 表面光洁度 纤维 表面粗糙度 烧蚀 光纤激光器 光电子学 光学 复合材料 制作 医学 物理 工程类 病理 图层(电子) 航空航天工程 替代医学
作者
Florian Preusch,Benedikt Adelmann,Ralf Hellmann
出处
期刊:Micromachines [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:5 (4): 1051-1060 被引量:43
标识
DOI:10.3390/mi5041051
摘要

We report on high precision high speed micromachining of Al2O3 and AlN using pulsed near infrared fiber laser. Ablation thresholds are determined to be 30 J/cm2 for alumina and 18 J/cm2 for aluminum nitride. The factors influencing the efficiency and quality of 3D micromachining, namely the surface roughness, the material removal rate and the ablation depth accuracy are determined as a function of laser repetition rate and pulse overlap. Using a fluence of 64 J/cm², we achieve a material removal rate of up to 94 mm³/h in Al2O3 and 135 mm³/h in AlN for high pulse overlaps (89% and 84%). A minimum roughness of 1.5 μm for alumina and 1.65 μm for aluminum nitride can be accomplished for medium pulse overlaps (42% to 56%). In addition, ablation depth deviation of the micromachining process of smaller than 8% for alumina and 2% for aluminum nitride are achieved. Based on these results, by structuring exemplarily 3D structures we demonstrate the potential of high quality and efficient 3D micromachining using pulsed fiber laser.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
量子星尘发布了新的文献求助10
刚刚
赘婿应助sue采纳,获得30
6秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
14秒前
sue完成签到,获得积分10
18秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
28秒前
nmslwsnd250发布了新的文献求助10
30秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
39秒前
46秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
52秒前
司徒天动发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
司徒天动完成签到,获得积分10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
bkagyin应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
joe完成签到 ,获得积分0
2分钟前
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助100
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
Physio发布了新的文献求助10
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
dominus完成签到,获得积分10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
Physio完成签到,获得积分10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
研友_VZG7GZ应助zhyp505采纳,获得10
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
YUYUYU完成签到 ,获得积分10
4分钟前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2700
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 1000
Statistical Methods for the Social Sciences, Global Edition, 6th edition 600
こんなに痛いのにどうして「なんでもない」と医者にいわれてしまうのでしょうか 510
Walter Gilbert: Selected Works 500
An Annotated Checklist of Dinosaur Species by Continent 500
岡本唐貴自伝的回想画集 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3661054
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3222214
关于积分的说明 9744049
捐赠科研通 2931835
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1605234
邀请新用户注册赠送积分活动 757780
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 734518