材料科学
化学气相沉积
多晶硅
非晶硅
氮化硅
硅
薄膜
沉积(地质)
无定形固体
纳米技术
化学工程
光电子学
图层(电子)
薄膜晶体管
晶体硅
有机化学
古生物学
化学
沉积物
工程类
生物
作者
Hideki Matsumura,Atsushi Masuda,Akira Izumi
出处
期刊:MRS Proceedings
[Springer Nature]
日期:1999-01-01
卷期号:557
被引量:18
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI