Spark assisted chemical engraving (SACE) in microfactory

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作者
Rolf Wüthrich,Kazuhiro Fujisaki,Ph Couthy,Lucas A. Hof,Hannes Bleuler
出处
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
卷期号:15 (10): S276-S280 被引量:46
标识
DOI:10.1088/0960-1317/15/10/s04
摘要

Spark assisted chemical engraving (SACE) is a method for 3D microstructuring of glass or other non-conductive materials with high aspect ratio and smooth surface quality. It is applicable for rapid prototyping of microfluidic devices, for MEMS interfacing and similar applications. Typical feature size is in the hundreds of micrometres, down to a few tens of micrometres. It is a table-top technology requiring no clean rooms and no masks and with very modest space usage. It is thus well suited for microfactories. This paper gives a basic introduction to SACE and some machining examples.
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