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Cw argon laser crystallization of silicon films: Structural properties

材料科学 结晶 激光器 准分子激光器 氩 无定形固体 硅 非晶硅 衍射 外延 连续波 光电子学 光学 晶体硅 复合材料 化学工程 结晶学 化学 图层（电子） 有机化学 工程类 物理
作者
Jean-François Michaud,Régis Rogel,T. Mohammed-Brahim,M. Sarret
出处
期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier]
日期：2006-03-30 卷期号：352 (9-20): 998-1002 被引量：23
链接
hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.121
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