Ellipsometry on sputter-deposited tin oxide films: optical constants versus stoichiometry, hydrogen content, and amount of electrochemically intercalated lithium

材料科学 折射率 椭圆偏振法 溅射 薄膜 分析化学(期刊) 氧化铟锡 光学 带隙 溅射沉积 氧化锡 锂(药物) 氧化物 光电子学 化学 纳米技术 医学 物理 内分泌学 冶金 色谱法
作者
J. Isidorsson,Claes G. Granqvist,K. von Rottkay,M. Rubín
出处
期刊:Applied optics [The Optical Society]
卷期号:37 (31): 7334-7334 被引量:33
标识
DOI:10.1364/ao.37.007334
摘要

Tin oxide thin films were deposited by reactive radio-frequency magnetron sputtering onto In(2)O(3):Sn-coated and bare glass substrates. Optical constants in the 3002500-nm wavelength range were determined by a combination of variable-angle spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric transmittance measurements. Surface roughness was modeled from optical measurements and compared with atomic-force microscopy. The two techniques gave consistent results. The fit between experimental optical data and model results could be significantly improved when it was assumed that the refractive index of the Sn oxide varied across the film thickness. Varying the oxygen partial pressure during deposition made it possible to obtain films whose complex refractive index changed at the transition from SnO to SnO(2). An addition of hydrogen gas during sputtering led to lower optical constants in the full spectral range in connection with a blueshift of the bandgap. Electrochemical intercalation of lithium ions into the Sn oxide films raised their refractive index and enhanced their refractive-index gradient.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
htumfg完成签到,获得积分10
刚刚
ABS发布了新的文献求助10
刚刚
可爱的函函应助冇_采纳,获得10
1秒前
momo完成签到,获得积分10
2秒前
润润轩轩发布了新的文献求助10
2秒前
背书强发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
3秒前
4秒前
4秒前
6秒前
研友_VZG7GZ应助雨品采纳,获得10
7秒前
cctv18应助forstudy采纳,获得10
8秒前
9秒前
10秒前
10秒前
11秒前
结实夜雪完成签到,获得积分10
11秒前
赘婿应助复尔尔采纳,获得10
11秒前
12秒前
13秒前
sx应助jie.cr采纳,获得10
13秒前
13秒前
华仔应助便宜小师傅采纳,获得10
15秒前
寒舟饮完成签到,获得积分10
15秒前
16秒前
诸岩发布了新的文献求助10
16秒前
社会五好青年完成签到,获得积分10
17秒前
无花果应助疲惫的砂糖橘采纳,获得10
17秒前
慕青应助努力站桩的奶酪采纳,获得10
17秒前
17秒前
17秒前
谨川发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
zjy03259完成签到,获得积分20
18秒前
研究僧-卓发布了新的文献求助10
19秒前
哈哈哈哈哈监控完成签到,获得积分10
19秒前
zjy03259发布了新的文献求助10
21秒前
旺大财发布了新的文献求助10
22秒前
23秒前
高分求助中
The late Devonian Standard Conodont Zonation 2000
Nickel superalloy market size, share, growth, trends, and forecast 2023-2030 2000
The Lali Section: An Excellent Reference Section for Upper - Devonian in South China 1500
Smart but Scattered: The Revolutionary Executive Skills Approach to Helping Kids Reach Their Potential (第二版) 1000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 830
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 800
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 800
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3247867
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2891062
关于积分的说明 8266031
捐赠科研通 2559319
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1388095
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 650694
邀请新用户注册赠送积分活动 627581