Sputtered Sn-doped Ga2O3 films under balance controlled of energy supply and ion bombardment for solar-blind detection application

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作者
Chen Wang,Wei‐Hang Fan,Rong-Jun Cao,Hui-Chen Fan,Yi-Hong Xu,Pin-Chun Kang,Tingzhu Wu,Hao‐Chung Kuo,Shui‐Yang Lien,Wen‐Zhang Zhu
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:225: 113246-113246 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.113246

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