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Influence of High-κ Dielectrics Integration on ALD-Based MoS2 Field-Effect Transistor Performance

电介质 高-κ电介质 材料科学 晶体管 光电子学 场效应晶体管 工程物理 领域（数学） 电气工程 工程类 电压 数学 纯数学
作者
Reyhaneh Mahlouji,Yue Zhang,Marcel A. Verheijen,Saurabh Karwal,Jan P. Hofmann,W. M. M. Kessels,Ageeth A. Bol
出处
期刊：ACS applied nano materials [American Chemical Society]
日期：2024-08-12 卷期号：7 (16): 18786-18800
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1021/acsanm.4c02214
摘要
The integration of high-κ dielectrics on MoS
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