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Effect of novel non-inhibitor slurry on chemical mechanical polishing properties of copper interconnect copper film based on experiments and theoretical calculations
铜
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作者
Chao He,
Xinhuan Niu,
Jianghao Liu,
Ni Zhan,
Yida Zou,
Changxin Dong,
Xinjie Li,
Jiabao Cheng,
Yunhui Shi,
Xiaodong Luan
出处
期刊：
Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects
[Elsevier]
日期：2024-09-01
卷期号：: 135457-135457
标识
DOI：10.1016/j.colsurfa.2024.135457
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