Etching process prediction based on cascade recurrent neural network

计算机科学 级联 过程(计算) 人工神经网络 人工智能 数据挖掘 机器学习 操作系统 化学工程 工程类
作者
Zhenjie Yao,Ziyi Hu,Panpan Lai,Fengling Qin,Wenrui Wang,Zhicheng Wu,Lingfei Wang,Hua Shao,Yida Li,Zhiqiang Li,Zhongming Liu,Junjie Li,Rui Chen,Ling X. Li
出处
期刊:Engineering Applications of Artificial Intelligence [Elsevier]
卷期号:139: 109590-109590
标识
DOI:10.1016/j.engappai.2024.109590

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