Point diffraction interferometer based on a silicon nitride waveguide spherical wave source

光学 干涉测量 衍射 波前 干扰(通信) 曲率半径 球面波 氮化硅 波导管 材料科学 强度干涉仪 天文干涉仪 物理 曲率 光电子学 平均曲率 频道(广播) 几何学 电气工程 数学 流量平均曲率 工程类
作者
Yingze Xue,Yuankai Chen,Yongying Yang,Jian Bai
出处
期刊:Applied Optics [Optica Publishing Group]
卷期号:61 (20): 5850-5850 被引量:2
标识
DOI:10.1364/ao.461806
摘要

A point diffraction interferometer based on silicon nitride waveguide (WG-PDI), adopting a silicon nitride waveguide spherical wave source (WG-SWS) with Si substrate and SiO2 cladding, is proposed for spherical surface testing. The WG-SWS is used to overcome the drawbacks of the existing spherical wave sources, which can generate high accuracy and high numerical aperture spherical reference wave. In this paper, the theory of the WG-PDI is described, and the possible errors introduced by the device are analyzed. In addition, the lateral deviation between the curvature center of the test wave and the curvature center of the reference wave cannot be eliminated in the reflected configuration of the pinhole diffraction interferometer. After analyzing the influence of the systematic error introduced by the lateral deviation, the semi-reflective film was coated on the output facet of the waveguide spherical wave source to realize point diffraction interference without lateral deviation. Finally, the surface error of a spherical surface was measured by WG-PDI. The experimental results agree well with those measured by the ZYGO interferometer.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
阿纯完成签到,获得积分10
刚刚
南方姑娘完成签到,获得积分10
刚刚
李爱国应助何征结采纳,获得10
1秒前
不安静白完成签到 ,获得积分20
4秒前
wanci应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
李健应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
天天快乐应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
深情安青应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
Lc应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
Lc应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
完美世界应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
Owen应助nananan采纳,获得10
5秒前
脑洞疼应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
5秒前
5秒前
5秒前
6秒前
6秒前
万能图书馆应助霜之哀伤采纳,获得30
7秒前
Rondab应助Francois采纳,获得10
8秒前
马旭辉完成签到,获得积分20
8秒前
10秒前
10秒前
lzm发布了新的文献求助10
13秒前
活泼水桃发布了新的文献求助20
13秒前
科研达人发布了新的文献求助10
15秒前
12321234完成签到,获得积分10
15秒前
英俊的铭应助霜之哀伤采纳,获得10
16秒前
16秒前
文刀完成签到,获得积分10
16秒前
garrick发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
17秒前
20秒前
21秒前
QixuGuo发布了新的文献求助10
22秒前
23秒前
鸣笛应助满意的世界采纳,获得50
23秒前
Francois给Francois的求助进行了留言
23秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 370
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
Aktuelle Entwicklungen in der linguistischen Forschung 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3993004
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3533831
关于积分的说明 11263946
捐赠科研通 3273597
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1806129
邀请新用户注册赠送积分活动 882968
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809629