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Development and optimisation of a SiO2 PVD technique based on the thermal decomposition of PDMS
基于PDMS热分解的SiO2 PVD技术的开发与优化
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期刊:New Journal of Chemistry 作者:Paul Cannon; Enda McGlynn; Brian Freeland; Jennifer Gaughran 出版日期:2023-01-01 |
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