标题 |
Femtosecond Laser Percussion Drilling of Silicon Using Repetitive Single Pulse, MHz-, and GHz-Burst Regimes
使用重复单脉冲、MHz和GHz突发机制的硅飞秒激光冲击钻孔
相关领域
突发模式(计算)
飞秒
材料科学
激光器
硅
光学
半导体
脉搏(音乐)
光电子学
物理
电气工程
工程类
探测器
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DOI | |
其它 |
期刊:Micromachines 作者:Pierre Balage; Manon Lafargue; Théo Guilberteau; Guillaume Bonamis; Clemens Hönninger; et al 出版日期:2024-05-09 |
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