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标题
Effect of capacitive coupling in a miniature inductively coupled plasma source
微型电感耦合等离子体源中电容耦合的影响
相关领域
电容感应 感应耦合等离子体 电容耦合 等离子体 电磁线圈 容性耦合等离子体 感应耦合 联轴节（管道） 原子物理学 电容 材料科学 物理 电极 电气工程 电压 工程类 量子力学 冶金
网址
https://doi.org/10.1063/1.4764333
DOI
10.1063/1.4764333 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Yoshinori Takao; Koji Eriguchi; Kouichi Ono
出版日期：2012-11-01
求助人
溜溜 在 2025-02-21 14:51:45 发布自广东，悬赏 10 积分
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