Novel materials design for immersion lithography

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标题	Novel materials design for immersion lithography 浸没式光刻的新型材料设计相关领域抵抗浸没式光刻平版印刷术材料科学沉浸式（数学）浸出（土壤学）表面粗糙度涂层表面光洁度纳米光刻复合材料纳米技术光电子学图层（电子）制作医学环境科学数学替代医学病理纯数学土壤科学土壤水分
网址	https://doi.org/10.1117/12.712096
DOI	10.1117/12.712096 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Kenji Wada; Shinichi Kanna; Hiromi Kanda 出版日期：2007-03-16
求助人	觞f 在 2024-10-25 16:18:05 发布自中国，悬赏 20 积分
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