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用CF 4 / O 2气对铝靶材进行脉冲磁控溅射制备的AlF 3薄膜的光学和机械性能
相关领域
溅射
材料科学
摩尔吸收率
透射率
薄膜
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高功率脉冲磁控溅射
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光学
吸收(声学)
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分析化学(期刊)
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化学
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