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![]() 均匀金属辅助化学蚀刻与催化剂的稳定性
相关领域
材料科学
蚀刻(微加工)
各向同性腐蚀
沟槽
催化作用
纳米技术
制作
化学工程
金属
溶解
干法蚀刻
逐渐变细
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期刊:MRS Proceedings 作者:Liyi Li; Colin Holmes; Jinho Hah; Owen Hildreth; C.P. Wong 出版日期:2015-01-01 |
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