Pulsed DC magnetron sputtered tantalum nitride hard coatings for tribological applications

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标题	Pulsed DC magnetron sputtered tantalum nitride hard coatings for tribological applications 摩擦学用脉冲直流磁控溅射氮化钽硬质涂层相关领域材料科学氮化物氮化钽溅射溅射沉积无定形固体脉冲直流钽薄膜扩散阻挡层物理气相沉积碳化钽涂层氮化钛碳化物冶金复合材料纳米技术图层（电子）结晶学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.08.085
DOI	10.1016/j.surfcoat.2006.08.085 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Aditya Aryasomayajula; Krishna Valleti; Subrahmanyam Aryasomayajula; Deepak Bhat 出版日期：2006-11-16
求助人	zhang_23 在 2024-12-24 10:15:07 发布自上海，悬赏 10 积分
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