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标题
Ar/CF4 capacitively coupled plasma generated using 40 MHz sinusoidal and 800 kHz rectangular waveform voltages
使用40 MHz正弦和800 kHz矩形波形电压产生的Ar/CF4电容耦合等离子体
相关领域
容性耦合等离子体 占空比 等离子体 原子物理学 电压 电子 离子 激发态 化学 动能 电极 材料科学 物理 感应耦合等离子体 有机化学 量子力学 物理化学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ad95b9
DOI
10.1088/1361-6595/ad95b9 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Shahid Rauf; Sathya Ganta; Xingyi Shi; Kallol Bera; Jason Kenney
出版日期：2024-11-21
求助人
调研昵称 在 2025-01-13 17:11:53 发布自北京，悬赏 10 积分
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