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 Accelerated Diffusion Following Deprotection in Chemically Amplified Resists 化学放大抗蚀剂脱保护后的加速扩散
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期刊：The Journal of Physical Chemistry B 作者：Christopher M. Bottoms; Gila E. Stein; Manolis Doxastakis 出版日期：2022-08-19 |
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