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 Study of ZrN layers deposited by reactive magnetron sputtering 反应磁控溅射沉积ZrN薄膜的研究
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：M. Re; R. Gouttebaron; J. P. Dauchot; Philippe Leclère; G. Terwagne; et al 出版日期：2003-09-01 |
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