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 Production of vertical nanowire resonators by cryogenic-ICP–DRIE 低温ICP-DRIE制备垂直纳米线谐振器
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期刊：Microsystem technologies 作者：Stephan Merzsch; Frederik Steib; Hutomo Suryo Wasisto; Andrej Stranz; P. Hinze; et al 出版日期：2013-12-18 |
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