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S i l i c o n c a r b i d e l i q u i d p h a s e e p i t a x y i n t h e S i - S c - C s y s t e m ［ C ］
Si-SC-C系统中碳化硅液相外延[C]
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Reference [86] ］ Y A K I M O V A Ｒ ， T U O M I N E N M ， B A K I N A S ， e t a l ． S i l i c o n c a r b i d e l i q u i d p h a s e e p i t a x y i n t h e S i - S c - C s y s t e m ［ C ］ ∥ p r o c e e d i n g s o f t h e I n t e r n a t i o n a l C o n f e r e n c e o n S i l i c o n C a r b i d e a n d Ｒ e l a t e d M a t e r i a l s 1 9 9 5 ( I C S C Ｒ M - 9 5 ) ． I o p P u b l i s h i n g L t d : B Ｒ I S T O L ， 1 9 9 6 ． |
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