AppliedPRO: process recipe optimizer for R&D acceleration and beyond

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标题	AppliedPRO: process recipe optimizer for R&D acceleration and beyond AppliedPRO：用于研发加速及其他领域的工艺配方优化器相关领域薄脆饼配方半导体器件制造过程（计算）计算机科学公制（单位）软件半导体器件建模算法工程类电子工程电气工程程序设计语言化学运营管理食品科学 CMOS芯片
网址	https://doi.org/10.1117/12.2661320
DOI	10.1117/12.2661320 doi
其它	作者：Deepak Gupta; Sravan Nandakumar; Takemasa Miyagi; Oliver Jan; Waheb Bishara; et al 出版日期：2023-05-01
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