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标题
Electrochemical Behavior and Analysis of Organic Additives in Cobalt Damascene Baths
钴镶嵌液中有机添加剂的电化学行为及分析
相关领域
铜互连 电镀(地质) 材料科学 镀铜 电化学 电解质 电容 化学工程 冶金 复合材料 化学 电镀 电极 工程类 图层(电子) 物理化学 地球物理学 地质学
网址
DOI
10.1149/ma2016-02/29/1902 doi
其它 期刊:Meeting abstracts
作者:Michael Pavlov; Danni Lin; Eugene Shalyt; Xiaodong Yan
出版日期:2016-09-01
求助人
欢喜靖儿 在 2025-03-05 19:55:06 发布自上海,悬赏 10 积分
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