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标题
Overview of Silicon Carbide Wafer Defect Types and Inspection Techniques
碳化硅晶片缺陷类型及检测技术概述
相关领域
碳化硅 薄脆饼 材料科学 硅 工程物理 光电子学 计算机科学 工程类 冶金
网址
https://doi.org/10.1109/sslchinaifws64644.2024.10835376
DOI
10.1109/sslchinaifws64644.2024.10835376 doi
其它 期刊：
作者：Yang-Chao Liu; Wen-Jie Chen; Xin Qi; Yi Shen; Lin Gu; et al
出版日期：2024-11-18
求助人
PurityL 在 2025-04-02 22:32:33 发布自美国，悬赏 10 积分
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