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  Gamma and proton irradiation effects and thermal stability of electrical characteristics of metal-oxide-silicon capacitors with atomic layer deposited Al2O3 dielectric 原子层沉积Al2O3介质金属-氧化物-硅电容器电特性的γ和质子辐照效应及热稳定性
相关领域
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期刊：Solid-State Electronics 作者：J.M. Rafı́; G. Pellegrini; V. Fadeyev; Z. Galloway; H. F-W. Sadrozinski; et al 出版日期：2015-12-11 |
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