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 Multiple criteria optimization of electrostatic electron lenses using multiobjective genetic algorithms 基于多目标遗传算法的静电电子透镜多准则优化
相关领域
静电透镜
遗传算法
多目标优化
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电子光学
电极
光学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Neda Hesam Mahmoudi Nezhad; Mohamad Ghaffarian Niasar; A. Mohammadi Gheidari; P. Kruit; K. HAGEN 出版日期：2021-11-22 |
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