A Low-Temperature-Sensitivity Resonant Pressure Microsensor Based on Eutectic Bonding

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标题	A Low-Temperature-Sensitivity Resonant Pressure Microsensor Based on Eutectic Bonding 基于共晶键合的低温灵敏度谐振压力微传感器相关领域谐振器共晶体系材料科学硅灵敏度（控制系统）大气温度范围压力传感器分析化学（期刊）光电子学电子工程热力学物理化学复合材料工程类色谱法合金
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2022.3164946
DOI	10.1109/jsen.2022.3164946 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Jiahui Yao; Chao Cheng; Yulan Lu; Bin Xie; Jian Chen; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	房东在 2023-10-08 14:49:00 发布自重庆，悬赏 10 积分
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