The Effect of Annealing Treatment on the Distribution of Deuterium in Silicon and in Silicon/Silicon Oxide Systems

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标题	The Effect of Annealing Treatment on the Distribution of Deuterium in Silicon and in Silicon/Silicon Oxide Systems 退火处理对氘在硅和硅/氧化硅体系中分布的影响相关领域硅退火（玻璃）氘材料科学氧化硅氧化物纳米晶硅氧化物薄膜晶体管机车应变硅分析化学（期刊）单晶硅化学晶体硅冶金纳米技术原子物理学非晶硅物理环境化学氮化硅薄膜晶体管图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.2221171
DOI	10.1149/1.2221171 doi
求助人	Eve 在 2023-07-22 18:23:32 发布自河南，悬赏 10 积分
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