标题 |
A novel design of compact tilt stage with spatially distributed anti-symmetric compliant mechanism
一种新型空间分布反对称柔顺机构的紧凑式倾斜工作台设计
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期刊:Sensors and Actuators A-physical 作者:Z. Yang; Yushu Shi; Peng Yan 出版日期:2023-01-01 |
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