Ultraprecision CMP for sapphire, GaN, and SiC for advanced optoelectronics materials

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标题	Ultraprecision CMP for sapphire, GaN, and SiC for advanced optoelectronics materials 先进光电材料中蓝宝石、GaN和SiC的超精密CMP 相关领域化学机械平面化材料科学泥浆蓝宝石平坦度（宇宙学）表面粗糙度基质（水族馆）光电子学限制表面光洁度抛光复合材料激光器光学机械工程物理地质学工程类海洋学量子力学宇宙学
网址	https://doi.org/10.1016/j.cap.2012.02.016
DOI	10.1016/j.cap.2012.02.016 doi
其它	期刊：Current Applied Physics 作者：Hideo Aida; Toshiro Doi; Hideo Aida; Haruji Katakura; Seong-Woo Kim; et al 出版日期：2012-09-01
求助人	爱听歌婴在 2024-03-16 10:30:02 发布自陕西，悬赏 10 积分
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