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 Surface and thin film characterization using angle resolved light scattering: from roughness and defect analysis to in-situ coating inspection 使用角分辨光散射的表面和薄膜表征：从粗糙度和缺陷分析到原位涂层检测
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期刊： 作者：Anne-Sophie Munser; Tobias Herffurth; Christian Mühlig; Thomas Gischkat; Sven L. M. Schroeder 出版日期：2024-06-17 |
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