Diffusion of Impurities in Polycrystalline Silicon

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标题	Diffusion of Impurities in Polycrystalline Silicon 多晶硅中杂质的扩散相关领域多晶硅硅材料科学纳米晶硅微晶杂质热扩散率基质（水族馆）扩散硅烷图层（电子）纹理（宇宙学）单晶硅晶体硅结晶学非晶硅复合材料冶金化学薄膜晶体管有机化学物理海洋学图像（数学）量子力学人工智能计算机科学热力学地质学
网址	https://doi.org/10.1063/1.1660842
DOI	10.1063/1.1660842 doi
其它	期刊：Journal of applied physics 作者：T. I. Kamins; J. Manoliu; R. N. Tucker 出版日期：1972-01-01
求助人	AX丶在 2024-06-27 08:58:36 发布自浙江，悬赏 10 积分
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