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 An Add-in Test Structure Chip to Unitedly Assess PVD Material Properties in University Open Nanotechnology Platform 大学开放纳米技术平台中统一评估PVD材料性能的附加测试结构芯片
相关领域
纳米技术
材料科学
计算机科学
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| 其它 |
期刊： 作者：Shun Yasunaga; Kei Misumi; Ayako Mizushima; Atsushi Toyokura; Etsuko Ota; et al 出版日期：2024-04-15 |
| 求助人 | |
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