标题 |
Single step sequential polydimethylsiloxane wet etching to fabricate a microfluidic channel with various cross-sectional geometries
一步顺序聚二甲基硅油湿蚀刻以制造具有各种横剖面几何形状的微流体通道
相关领域
聚二甲基硅氧烷
微流控
材料科学
蚀刻(微加工)
反应离子刻蚀
纳米技术
干法蚀刻
复合材料
光电子学
图层(电子)
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其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Chien‐Kai Wang; W-H Liao; Hsiao‐Mei Wu; Y-H Lo; T-R Lin; et al 出版日期:2017-09-28 |
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