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标题
Single step sequential polydimethylsiloxane wet etching to fabricate a microfluidic channel with various cross-sectional geometries
一步顺序聚二甲基硅油湿蚀刻以制造具有各种横剖面几何形状的微流体通道
相关领域
聚二甲基硅氧烷 微流控 材料科学 蚀刻(微加工) 反应离子刻蚀 纳米技术 干法蚀刻 复合材料 光电子学 图层(电子)
网址
DOI
10.1088/1361-6439/aa874d doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Chien‐Kai Wang; W-H Liao; Hsiao‐Mei Wu; Y-H Lo; T-R Lin; et al
出版日期:2017-09-28
求助人
Linyi 在 2024-09-09 16:07:56 发布自上海,悬赏 10 积分
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