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Conformal Coating on Ultrahigh-Aspect-Ratio Nanopores of Anodic Alumina by Atomic Layer Deposition
原子层沉积在超高长径比阳极氧化铝纳米孔上的保形涂层
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Jeffrey W. Elam; Dmitri Routkevitch; Peter Mardilovich; Steven M. George 出版日期:2003-08-14 |
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