Effect of oxygen flow ratio on the performance of RF magnetron sputtered Sn-doped Ga2O3 films and ultraviolet photodetector

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标题	Effect of oxygen flow ratio on the performance of RF magnetron sputtered Sn-doped Ga2O3 films and ultraviolet photodetector 氧流量比对射频磁控溅射Sn掺杂Ga2O3薄膜和紫外光探测器性能的影响相关领域材料科学光电探测器紫外线兴奋剂光电子学溅射沉积氧气无定形固体分析化学（期刊）薄膜溅射纳米技术色谱法有机化学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.11.251
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.11.251 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Chen Wang; W.L. Fan; Yuchao Zhang; Pin-Chun Kang; Wan-Yu Wu; et al 出版日期：2023-04-01
求助人	独特谷丝在 2024-08-27 17:45:47 发布自陕西，悬赏 10 积分
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