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 Progress of Microstructure and Texture of High Purity Tantalum Sputtering Target 高纯钽溅射靶的组织与织构研究进展
相关领域
钽
材料科学
溅射
微观结构
退火（玻璃）
再结晶（地质）
粒度
冶金
晶粒生长
制作
溅射沉积
复合材料
薄膜
纳米技术
医学
古生物学
替代医学
病理
生物
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| 其它 |
期刊：Materials Science Forum 作者：Jiang Hao Bai; Xiao Dong Xiong; Jun Luo; Guangye Xu; Yong Jun Li 出版日期：2021-06-22 |
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