Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films

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标题	Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films 等离子体反应物对磷酸锂和磷氮锂电解质薄膜原子层沉积的影响相关领域锂（药物）磷电解质无机化学原子层沉积磷酸盐材料科学沉积（地质）图层（电子）磷酸钒锂电池化学纳米技术冶金物理化学有机化学医学古生物学电极沉积物生物内分泌学
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c00960
DOI	10.1021/acs.chemmater.4c00960 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Tohru Tsuruoka; Samapika Mallik; Takuji Tsujita; Yuu Inatomi; Kazuya Terabe 出版日期：2024-06-07
求助人	半分青蓝在 2024-09-29 18:48:07 发布自河北，悬赏 10 积分
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